Nejprve si musíme ujasnit, že kontaminace vakuové komory v podstatě zahrnuje různé nečistoty (vodní pára, uhlovodíky, prach, mastnota atd.), které ulpívají na stěnách komory nebo na površích vnitřních součástí a tvoří zdroje plynu a par, které narušují rovnováhu vakuového prostředí. Tyto nečistoty pocházejí z široké škály zdrojů, včetně zbytkové řezné kapaliny a maziva ze zpracování obrobku, potu rukou během provozu, polétavého prachu a dokonce i stopových nečistot vnesených vývěvou nebo těkavých látek z cílového materiálu nebo substrátu. Bez ohledu na typ kontaminace je strategií obnovy jádra „přesné odstranění nečistot bez poškození materiálu komory a obnovení vakuového prostředí“. Různé typy kontaminace vyžadují různé metody obnovy.
Metoda 1: Zahřívání na „odpaření“ nečistot - Metoda čištění vakuovým ohřevem Toto je nejzákladnější a běžně používaná metoda obnovy. Princip je velmi jednoduchý: stejně jako při sušení prádla se skvrnami od vody dochází i při zahřívání k odpařování těkavých nečistot (jako jsou vodní pára a mírné uhlovodíky) na povrchu dutiny a následně jsou odstraněny vakuovou pumpou, čímž se dosáhne čištění.
Metoda 2: Ultrafialový „rozklad“ kontaminantů - Metoda čištění ultrafialovým zářením. Pokud je znečištění dutiny tvořeno hlavně uhlovodíky (jako je zbytkový mazací olej a organické znečišťující látky), bude metoda čištění ultrafialovým zářením účinnější. Navíc je bez-kontaktní a nepoškozuje-po celou dobu procesu, takže je zvláště vhodný pro scénáře s extrémně vysokými požadavky na materiál, jako jsou přesné optické dutiny a polovodičové vakuové dutiny.
Metoda 3: Dekontaminace iontovým "bombardováním" - Metoda čištění výboje. U dutin s vysokým vakuem a ultra-vysokého vakua (jako jsou zařízení pro vakuové nanášení povlaků a dutiny pro implantaci polovodičových iontů) je kontaminace často odolnější, zejména uhlík a uhlovodíky na povrchu dutin z nerezové oceli, které je obtížné odstranit běžnými metodami. V tomto případě je zapotřebí metoda čištění výboje, která je také základní metodou pro hloubkovou obnovu vakuových dutin.
Metoda 4: Plynové „vypláchnutí“ nečistot - Metoda proplachování plynem Pokud je dutina jen mírně kontaminována nebo pokud je požadováno rychlé zotavení a zkrácení doby evakuace, je nejlepší volbou proplachování plynem. Dělí se na proplachování dusíkem a proplachování reaktivním plynem, které jsou vhodné pro různé scénáře.
Důraz by měl být kladen na ochranu po-kontaminaci: Po obnově by měla být dutina chráněna před olejem a prachem. Během provozu by měla být přijata ochranná opatření a vakuová pumpa by měla být pravidelně udržována, aby se snížila možnost rekontaminace. To je zvláště důležité v oblastech s extrémně vysokými požadavky na čistotu, jako jsou polovodiče a letecký průmysl, kde čistota dutin přímo určuje životnost a výkon produktu. Čistota vakuové dutiny je „záchranným lanem“ špičkových-podtlakových procesů. Zvládnutím těchto čtyř metod obnovy jádra a flexibilním výběrem vhodné metody na základě stupně kontaminace a materiálu dutiny lze ve skutečnosti snadno vyřešit problémy s kontaminací dutiny a zajistit stabilní provoz vakuového systému. S rozvojem přesného zpracovatelského průmyslu se také technologie vakuového čištění neustále zdokonaluje, od tradičního čištění ohřevem až po ekologické a účinné čištění výbojem a plazmou. Stále více metod chrání čistotu vakuových dutin a chrání špičkovou-výrobu.
Vítejte na návštěvě našeho Tiktokuhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine za další videa o strojích, děkuji.
