Těsnící výkon je zásadním aspektem při navrhování zařízení pro vakuové nanášení, protože jeho kvalita přímo ovlivňuje, zda lze během následného procesu vakuování dosáhnout úrovně vakua potřebného pro nanášení. Pokud tento požadavek není splněn, ovlivní to přímo tvorbu a kvalitu filmu. K zajištění dobrého těsnícího výkonu vakuového nanášecího zařízení nebo systémů zdaleka nestačí jednoduše lokalizovat a zablokovat netěsnosti po instalaci. Je nezbytné provádět detekci netěsností ve vakuu ve všech fázích návrhu, výroby, uvedení do provozu a použití zařízení nebo systému vakuového nanášení.
Úvahy o designu proVakuový lakovací stroj
1. Určete celkovou maximální přípustnou míru úniku vakuového zařízení na základě požadavků procesu a poté určete maximální přípustnou míru úniku každé součásti na základě této celkové míry úniku.
2. Na základě maximální přípustné míry netěsnosti a dalších ukazatelů zařízení předběžně určete metody detekce netěsností, které se mají použít ve fázi návrhu, a použijte je jako jeden ze základních principů pro uvedení do provozu a přejímku.
3. Na základě maximálních přípustných ukazatelů netěsnosti zařízení nebo součástí určete způsoby těsnění a připojení a celkovou přesnost obrábění zařízení a také, který typ dynamického těsnění může splňovat požadavky. Například zda použít kovová těsnění nebo pryžová těsnění pro příruby.
4. Při navrhování konstrukční pevnosti kontejneru zvažte tlakovou odolnost a konstrukční pevnost požadovanou pro testovanou součást, pokud je použita metoda detekce úniku tlaku.
5. Při výběru konstrukčních materiálů pro součásti zvažte, zda nejsou použity materiály, které mohou být zkorodované a poškozené pracovním médiem a plynem pro testování těsnosti-.
6. Během konstrukčního návrhu by měla být na nádobě nebo systému zajištěna nezbytná náhradní rozhraní pro nástroje pro detekci netěsností pro použití během montáže zařízení a uvádění do provozu. Zejména u velkých a složitých potrubních systémů jsou často vyžadovány segmentované metody detekce netěsností; proto by měly být na potrubí instalovány segmentové izolační ventily a na každém izolačním segmentu by měla být vyhrazena rozhraní nástrojů pro detekci netěsností.
7. Při navrhování konstrukčních součástí se vyhněte návrhovým schématům, která mohou narušovat detekci netěsností. Slepé otvory by se například neměly používat pro otvory pro šrouby ve vakuové komoře, protože po instalaci šroubu může plyn ve zbývajícím prostoru uvnitř otvoru pro šroub unikat pouze skrz závitovou mezeru a vytvářet falešný únik. To prodlužuje dobu evakuace systému a narušuje normální detekci úniku. Podívejte se na diagram pro struktury, které by se neměly objevit při detekci úniku vakua.
8. Podobně nejsou v konstrukčním návrhu povoleny souvislé oboustranné-svary a více{2}}vrstvé těsnicí kroužky, protože ty vytvoří uprostřed „parazitní objem“ a způsobí únik plynu uvnitř. Kromě toho, když vnitřní i vnější svary nebo těsnicí kroužky netěsní současně, „parazitní objem“ způsobuje, že doba odezvy unikajícího plynu procházející dvouvrstvým svarem je příliš dlouhá, což znemožňuje normální detekci úniku.
9. Při návrhu svařovaných konstrukcí minimalizujte počet svarů, u kterých nelze po konečné montáži zjistit netěsnosti.
Výše uvedené body představují opatření pro detekci netěsností ve vakuovém nanášecím zařízení. Kvalita těsnícího výkonu přímo určuje, zda může být zařízení úspěšně přijato a zda jeho kvalita odpovídá normám.
