1. vakuová komora
Vakuová komora je jádro součástí vakuového potahovacího stroje. Jeho hlavní funkcí je vytvořit vakuové prostředí a udržovat proces povlaku ve vakuovém stavu. Vakuová komora je obvykle vyrobena z materiálů z nerezové oceli nebo hliníku s vysokým vakuovým těsněním a odolností proti korozi.
2. Systém čerpadla
Systém čerpadla je jednou z klíčových součástí vakuového potahovacího stroje. Je zodpovědné hlavně za extrahování plynu ve vakuové komoře, aby se vakuový stupeň dosáhl požadovaného stupně. Čerpací systém se obvykle skládá z molekulárních čerpadel, mechanických čerpadel a difúzních čerpadel. Různé kombinace čerpadla mohou dosáhnout různých stupňů vakua a pumpování.
3. zařízení pro upínání substrátu
Upevnění substrátu je další důležitou součástí vakuového potahovacího stroje. Používá se k opravě materiálu substrátu, který má být potažen, a řízení jeho polohy a trajektorie pohybu. Upínací zařízení substrátu je obvykle složeno z rotujícího stolu, zdvihacího mechanismu a podrty. Různé svorky se mohou přizpůsobit substrátům různých tvarů a velikostí.
4. Vytápěcí systém
Vytápěcí systém je nezbytnou součástí ve vakuovém potahovacím stroji. Může zahřívat substrát a povlakový materiál pro podporu tvorby povlaku a zlepšit jeho kvalitu. Vytápěcí systém je obvykle implementován rezistenčním drátem, elektromagnetickým vytápěním, indukčním vytápěním a dalšími metodami.
5. Zdroj povlaku
Zdroj povlaku je poslední součástí ve vakuovém potahovacím stroji. Používá se k poskytování materiálu, který je třeba potahovat, obvykle včetně kovů, keramiky, křemíku a dalších materiálů. Zdroj povlaku může materiál vložit na substrát pomocí elektronového paprsku, odpařováním, rozprašováním a dalšími metodami pro vytvoření požadovaného povlaku.
Souhrn: Vakuový potahovací stroj je zařízení používané k výrobě vysoce kvalitních povlaků, ve kterých je hlavní komponenty vakuová komora, systém čerpadla, upínací zařízení substrátu, topný systém a zdroj povlaku. Tyto komponenty spolupracují na dokončení procesu přípravy povlaku.
