Magnetron Spartering Equipment hraje klíčovou roli v mnoha oborech, jako je ošetření povrchu materiálu a příprava filmu. Denní údržba je nezbytná pro zajištění stabilního provozu zařízení, prodloužení jeho životnosti a zajištění kvality rozprašovaného filmu. Následující bude zpracovávat klíčové body každodenní údržby magnetorového rozprašovacího zařízení.
Údržba vakuového systému
1. Údržba vakuového čerpadla: Vakuové čerpadlo je jádro složkou vakuového systému magnetronového rozprašovacího zařízení. Pravidelně kontrolujte hladinu oleje vakuového čerpadla, abyste zajistili, že hladina oleje je v normálním rozmezí. Po dlouhodobém používání se výkon vakuového oleje zhoršuje kvůli adsorpci nečistot a vlhkosti. Obecně musí být olej vakuového čerpadla nahrazen každé určité období provozu (například 2000 hodin). Současně věnujte pozornost kontrole těsnosti pásu vakuového čerpadla. Příliš volný pás způsobí, že rychlost vakuového čerpadla bude nestabilní a ovlivní účinnost výfukového plynu; Příliš těsné může zrychlit opotřebení pásu. Pokud pás vykazuje známky opotřebení nebo stárnutí, měl by být vyměněn v čase.
2. čištění vakuového potrubí: Vakuová trubka je kanál spojující vakuové čerpadlo a rozprašovací komora, která je snadno absorbuje prach, nečistoty a částice generované během procesu rozprašování. K vyčištění vnitřku potrubí pravidelně používejte vyhrazený nástroj pro čištění vakuového potrubí k odstranění připojených nečistot. U částí, které je obtížné čistit, lze použít proplachování plynu, ale musí být zajištěna čistota proplachovacího plynu. Kromě toho zkontrolujte těsnost potrubí a zjistěte, zda nedochází k úniku. Malý únik může způsobit, že se stupeň vakua nedokáže dosáhnout ideálního stavu, což ovlivňuje účinek rozprašování. Detektor úniku hmotnostního spektrometru helia lze použít k detekci úniků v potrubí a úniky lze včas opravit.
3. kalibrace vakuového měřidla: Vakuový měřidlo se používá k měření vakuového stupně vakuového systému a jeho přesnost měření přímo souvisí s posouzením provozního stavu provozovatele. Pravidelně kalibrujte vakuový rozchod a obecně se doporučuje kalibrovat jednou za šest měsíců nebo jeden rok. Proces kalibrace musí být prováděn v souladu s operační příručkou poskytovanou výrobcem zařízení a musí být použito standardní kalibrační zařízení, aby se zajistilo, že údaje o stupni vakuového stupně měřené vakuovým měřením jsou přesné a spolehlivé.
Údržba cíle
1. Cílové čištění povrchu: Během procesu rozprašování se na cílovou plochu postupně ukládají produkty a nečistoty, což ovlivňuje rychlost rozprašování a kvalitu filmu. Po každém použití zařízení by měl být cílový povrch včas vyčištěn. Pro kovové cíle lze k jemnému čisticímu štětci použít speciální cílový čisticí kartáč; U některých citlivějších cílů, jako jsou keramické cíle, je vyžadována jemnější metoda čištění, jako je jemné utírání čistým měkkým hadříkem namočeným ve vhodném množství speciálního čisticího prostředku. Nepoužívejte ostré nástroje k poškrábání povrchu cíle, abyste zabránili poškození cíle.
2. Instalační inspekce cíle: Pravidelně kontrolujte instalaci cíle, abyste se ujistili, že cíl je pevně nainstalován. Cíl bude bombardován vysokorychlostní ionty během procesu rozprašování. Pokud není pevně nainstalován, může způsobit, že se cíl třese nebo dokonce spadne, což nejen ovlivní účinek rozprašování, ale také poškodí zařízení. Zkontrolujte, zda je spojení mezi cílem a napájecím zdrojem rozprašováním dobré. Uvolněnost spojení může způsobit, že proces rozprašování je nestabilní a způsobit abnormální jevy, jako je jiskření. Pokud je připojení shledáno jako uvolněné, měly by se spojovací šrouby včas napnout.
3. Cílové monitorování života: Různé typy cílových materiálů mají specifickou životnost. Věnujte zvýšenou pozornost doba rozprašování a rozprašování cíle. Když rychlost rozprašování cíle výrazně klesne a kvalita filmu kolísá, může to znamenat, že cíl je blízko své životnosti. Vyměňte cílový materiál včas, abyste zajistili stabilitu procesu rozprašování a konzistenci kvality filmu. Současně zaznamenejte dobu použití a související parametry cílového materiálu, abyste poskytli základ pro následné výměny cílového materiálu a vyhodnocení výkonu.
Údržba elektrického systému
1. Inspekce napájení: Napájení zařízení pro nápravu magnetronu poskytuje energii pro proces rozprašování a jeho stabilita je zásadní. Pravidelně kontrolujte, zda je výstupní napětí a proud napájení v normálním rozmezí. Pro detekci napájení můžete použít profesionální elektrické měřicí přístroje ke kontrole, zda jsou výstupní parametry v souladu s hodnotami nastavení zařízení. Pokud je zjištěno, že výstupní napětí nebo proud je abnormálně kolísající, příčina by měla být okamžitě prozkoumána. Může to být chyba ve vnitřních komponentách napájení nebo problému s připojením linky. Kromě toho zkontrolujte rozptyl tepla napájení, abyste zajistili, že napájení může během provozu normálně rozptýlit teplo. Napájení bude při dlouhé práci generovat hodně tepla. Pokud je rozptyl tepla špatný, může to způsobit poškození komponent. Vyčistěte prach na napájecím radiátoru, aby se zajistilo, že chladicí ventilátor běží normálně.
2. Údržba elektrického obvodu: Zkontrolujte, zda elektrický obvod uvnitř zařízení stárne nebo poškozuje. Po dlouhodobém použití může mít elektrický obvod problémy, jako je stárnutí izolační vrstvy a poškození drátu, což způsobí bezpečnostní rizika a ovlivní normální provoz zařízení. Pro nalezené stárnutí nebo poškozené obvody by měly být vyměněny v čase. Současně zajistěte, aby připojení linky bylo pevné, aby se zabránilo uvolnění špatného kontaktu. Volné body připojení mohou generovat jiskry během provozu zařízení, komponenty vybavení poškození nebo dokonce způsobit oheň. Pravidelně utáhněte šrouby připojení linky a zkontrolujte kontakt mezi zástrčkou a zásuvkou.
3. Údržba řídicího systému: Řídicí systém zařízení je zodpovědný za monitorování a úpravu různých parametrů procesu rozprašování. Pravidelně zálohujte data v řídicím systému, abyste zabránili ztrátě dat. Zároveň zkontrolujte, zda existují aktualizace výzvy pro software pro řídicí systém. Včasné aktualizace softwaru mohou opravit známé zranitelnosti a zlepšit stabilitu a funkci systému. Kromě toho vyčistěte operační rozhraní řídicího systému, abyste zajistili, že tlačítka a obrazovka displeje fungují správně a operátor může přesně vdávat parametry a získat informace o provozu zařízení.
Údržba systému chlazení
1. Inspekce chladicí kapaliny: Chladicí systém se používá ke snížení tepla generovaného zařízením během provozu. Chladicí kapalina je klíčovým médiem chladicího systému. Pravidelně kontrolujte hladinu chladicí kapaliny, abyste zajistili, že úroveň je v normálním rozmezí. Hladina chladicí kapaliny poklesne v důsledku odpařování, úniku atd. Při dlouhodobém používání. Příliš nízká hladina ovlivní chladicí efekt. Současně zkontrolujte kvalitu chladicí kapaliny a pozorujte, zda je chladicí kapalina vybledlá, zakalená nebo má zápach. Pokud se chladicí kapalina zhoršuje, měla by být včas vyměněna. Obecně se doporučuje vyměnit chladicí kapalinu každé 1-2 roky. Specifický náhradní cyklus může být stanoven podle použití zařízení a doporučení výrobce.
2. Údržba chladicího potrubí: Zkontrolujte, zda je chladicí trubka blokována. Vnitřek chladicího potrubí může být blokován v důsledku hromadění měřítka, nečistot atd., Které ovlivňuje normální tok chladicí kapaliny. Potrubí lze čistit chemickým čištěním nebo fyzickým čištěním. Chemické čištění může používat speciální čisticí prostředky potrubí, ale věnovat pozornost koncentraci čisticího prostředku a doba čištění, aby se zabránilo korozi na potrubí. Fyzické čištění může být prováděno vysokotlakým proplachováním vodní pistole a dalšími metodami. Kromě toho zkontrolujte utěsnění chladicího potrubí, abyste zabránili úniku chladicí kapaliny. Pokud je v potrubí nalezen únik, měly by být poškozené části potrubí opraveny nebo vyměněny včas.
3. Inspekce chladicího zařízení: Zkontrolujte vodní čerpadlo, chladič a další zařízení v chladicím systému. Zajistěte, aby vodní čerpadlo normálně fungovalo. Oběžné kolo vodního čerpadla může ovlivnit čerpací kapacitu v důsledku opotřebení. Pokud se zjistí, že vodní čerpadlo je neobvykle čerpáno, mělo by být vodní čerpadlo opraveno nebo vyměněno včas. Zkontrolujte, zda jsou ploutve chladiče chladiče blokovány, vyčistěte prach a zbytky na ploutvech chladiče a zajistěte, aby chladič mohl účinně rozptýlit teplo. Současně zkontrolujte provoz ventilátoru chlazení a ujistěte se, že ventilátor může normálně zajistit chladicí vzduch pro radiátor.
Čištění zařízení a údržba prostředí
1. Čištění povrchu vybavení: Pravidelně vyčistěte povrch magnetorového rozprašovacího zařízení k odstranění prachu, oleje a dalších znečišťujících látek. Čistý měkký hadřík můžete použít k ponoření do vhodného množství detergentu a jemně otřete povrch zařízení. U některých tvrdohlavých skvrn můžete použít speciální čistič vybavení, ale buďte opatrní, abyste se vyhnuli vstupu do vnitřku zařízení. Po čištění otřete povrch zařízení čistým hadříkem, abyste udrželi vzhled zařízení čistý.
2. Čisté pracovní prostředí: Pracovní prostředí zařízení má také důležitý dopad na jeho výkon a život. Udržujte pracovní prostředí v čistotě, pravidelně čistěte prach na zemi a zabrání příliš velkému prachu do zařízení. Řídit teplotu a vlhkost pracovního prostředí. Obecně je zařízení magnetronu rozprašování vhodné pro práci v prostředí s teplotou 20-25 a relativní vlhkostí 40%-60%. K úpravě okolní teploty a vlhkosti lze nainstalovat zařízení klimatizace a odvlhčení. Kromě toho zajistěte, aby pracovní prostředí bylo dobře větrano, aby se zabránilo hromadění tepla a výfukových plynů generovaných během provozu zařízení.
Stručně řečeno, každodenní údržba zařízení magnetronu nápravy pokrývá několik aspektů, jako je vakuový systém, cíl rozprašování, elektrický systém, chladicí systém, čištění zařízení a environmentální údržba. Provozovatelé by měli přísně dodržovat příručku pro údržbu výrobce zařízení pro pravidelnou údržbu, okamžitě objevit a řešit potenciální problémy, aby zajistili stabilní provoz zařízení, zlepšit životnost zařízení, a tak zlepšit efektivitu kvality a výroby prstvého filmu.
